130：88516j 含有X射线发生器和探测器的化学蒸气气相淀积（简称CVD）设备，以及它们在摆动曲线探测方面的应用

• 作者: 付玉信 华小西
• 来源期刊: 磷酸盐工业
• 学科: 工学
• 关键词: 反应炉 气相 薄膜 蒸气 发生器 X射线 装置 衍射 磷化镓 曲线
• 年，卷（期）: lsygy_2005,（1）
• 页码范围: 56
• 页数: 1页
• 分类号: TQ127

摘要

在本文所述的仪器的反应炉表面的一部分或整个装置反应炉表面上，形成了一个窗口，X射线即喷射到反应炉面上的一层薄膜上(例如是磷化镓或磷化镓砷)，这样X射线发生的散射线被检测出来。X射线发生器和检测器围绕着反应炉转动，这样使得薄膜与X射线间的夹角与薄膜与衍射线之间的夹角之比值保持2：1，使得研究者可以现场进行观测。(指对摆动曲线或者薄膜的晶格配置的观测)。