两侧下拉电极MEMS压控电容的分析和优化

• 作者: 刘泽文 刘理天 方杰 李志坚 王昱 韦嘉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压控电容 微机电系统 能量法
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 135-143
• 页数: 9页
• 分类号: TM532.5
• 字数: 4646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.02.004

摘要

基于能量法对两侧下拉电极控制(SPEC)的MEMS(微机电系统)压控电容进行了分析和优化.使用数值迭代方法计算了压控电容可动极板的挠度试解函数,得到了试解函数形状在不同驱动电压下的曲线.计算结果与有限元仿真所得结果一致.在此基础上,给出了基于铝材料的两侧下拉电极MEMS压控电容的优化过程,得到了优化结果.对于初始应力5 MPa,杨式模量70 GPa,极板厚度1.5 μm,极板间距1 μm,总长度为600 μm的铝材料压控电容,控制电极采用70 μm的优化长度,可以实现变化比率为2:1电容变化比率.结果表明采用(SPEC)结构的压控电容,能有效地减小或避免静电微机械结构特有的"崩塌"效应,获得较大的电容调节范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	刘泽文	清华大学微电子学研究所	50	169	7.0	10.0
3	李志坚	清华大学微电子学研究所	84	451	11.0	15.0
4	王昱	清华大学微电子学研究所	4	73	3.0	4.0
5	韦嘉	清华大学微电子学研究所	6	16	3.0	3.0
6	方杰	清华大学微电子学研究所	4	4	1.0	2.0