基于共平面二维工作平台的精密测量系统

• 作者: 刘玉圣 王伟丽 范光照
• 来源期刊: 中国计量学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 共平面 对称 线性衍射光栅干涉仪 信号细分
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 264-267
• 页数: 4页
• 分类号: TH721
• 字数: 1530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1540.2005.04.002

摘要

介绍了新型共平面精密二维平台的机械设计与精密测量系统的研发.机械结构引入共平面理论,使得X方向和Y方向的导轨面在同一高度平面,减小了Z向阿贝误差和累积误差,兼顾对称设计,减小力变形、热变形;研制出高精度线性衍射光栅干涉仪,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,配合信号细分原理,使得该系统可以达到纳米级分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范光照	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	10	142	6.0	10.0
3	刘玉圣	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	5	84	5.0	5.0
6	王伟丽	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	46	4.0	4.0