基于Fuzzy-PID的MOCVD温度控制方法

• 作者: 解宝辉 过润秋
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 温度控制 模糊PID控制
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 504-507,517
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 字数: 2625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2005.04.004

摘要

针对MOCVD系统反应室温度的特性和对温度控制的要求,提出了一种基于Fuzzy-PID的温度控制方案,即利用模糊控制求得归一化的PID参数变化系数,从而实现PID参数的在线自调整.与Smith预估控制相比,Fuzzy-PID具有更好的控制效果,较好地解决了系统中存在的"非线性"、"大滞后"、"物理模型不精确"等问题,满足MOCVD控制系统温度控制要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	过润秋	西安电子科技大学机电工程学院	31	374	11.0	18.0
2	解宝辉	西安电子科技大学机电工程学院	2	22	1.0	2.0