氧等离子体清洗对sol-gel薄膜透过率的影响

• 作者: 任寰 何钱军 林理彬 蒋晓东 黄祖鑫
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体 sol-gd 透过率
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 基础学科
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: O539|O485
• 字数: 1922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2005.03.012

摘要

利用高频激发氧等离子体对sol-gel薄膜(旋转单面单层SiO2膜)进行清洗处理,并对清洗前后的样品进行时间不等的处理,发现样品在清洗后,透过率曲线向短波长方向移动,并且透过率峰值增加.随着存放时间的变化,透过率曲线也变化.在存放20天后膜层透过率曲线峰值和位置不再变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任寰	中国工程物理研究院激光聚变中心	22	177	10.0	13.0
2	蒋晓东	中国工程物理研究院激光聚变中心	47	476	14.0	19.0