52Cr原子束激光生荧光稳频技术

• 作者: 张宝武 李同保 郑春兰
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 工学
• 关键词: 原子光刻 铬原子束 激光稳频 激光感生荧光
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与元器件
• 页码范围: 16-21
• 页数: 6页
• 分类号: TN242
• 字数: 3109字
• 语种: 中文

摘要

通过分析52Cr原子光刻对激光系统的技术要求,详细介绍了一种基于原子束激光感生荧光(UF)光谱技术的稳频方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李同保	同济大学物理系	41	130	7.0	8.0
2	郑春兰	同济大学物理系	7	34	3.0	5.0
3	张宝武	同济大学物理系	12	51	5.0	6.0