MEMS反射镜建模及其控制实验研究

• 作者: 匡丽娟 宋镜明 翟金会 阮玉
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微致动器 宏模型 微机电系统 微反射镜
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TN203
• 字数: 1400字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2005.11.011

摘要

从经典二阶振荡系统的传递函数入手,根据MEMS反射镜的开环瞬态响应实验,对模型的参数进行辨识,考察了模型在静态状况下静电力和弹簧扭矩的关系.推导了阻尼系数和实验曲线之间的关系.这个关系对阻尼系数的辨识不需要考察微镜的尺寸和空气压力,从而可以减轻计算量并且保证了精度.最后,通过仿真和实验结果来验证参数辨识的正确性.在实验和仿真结果中,系统的超调量被大幅度减小,稳定时间可以控制在7 ms以内,验证了模型参数辨识的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阮玉	华中科技大学光电子工程系	27	309	9.0	17.0
2	宋镜明	华中科技大学光电子工程系	7	83	4.0	7.0
3	翟金会	华中科技大学光电子工程系	2	65	1.0	2.0
4	匡丽娟	华中科技大学光电子工程系	2	65	1.0	2.0