薄膜反射镜的成形控制

• 作者: 刘春雨 张鹏 石广丰 金光
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 静电拉伸 薄膜反射镜 分布式电板 控制矩阵 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 732-737
• 页数: 6页
• 分类号: TH751:TH703
• 字数: 3788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.04.007

摘要

针对望远镜发射系统承载空间与承载质量的限制与大口径、高分辨率反射镜使用需求之间的矛盾,开展了轻质柔性薄膜反射镜地基试验研究,实现了静电拉伸式薄膜反射镜的精确成形控制.针对口径为300 mm的同心环分布式电极静电拉伸聚酰亚胺镀铝薄膜反射镜,基于泊松方程的薄膜小变形近似求解.并通过确定每环电极对面形的影响函数来确定分布式电极对反射镜薄膜成形的控制矩阵,进而利用最小二乘法求得了分布式电极对面形精确控制所需的分布电压.用ANSYS有限元分析法对比结果,分析相关误差并总结控制方法.结果显示,在薄膜中心变形量超过2.5 mm以后,基于泊松方程的理论求解和ANSYS有限元分析结果相差很大,计算面形与理想面形偏差也很大;认为只有综合运用数值计算和有限元分析,通过确定分布式电极对面形的控制矩阵,运用最小二乘法求解分布式电压,才能准确地实现薄膜小变形面形的预知和控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	202	2450	24.0	39.0