应用条纹投影法测量薄膜反射镜的成形

• 作者: 姚劲松 张元 张雷 张鹏 金光 钟兴
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜反射镜 面形测量 正弦条纹投影 优化控制
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1185-1191
• 分类号: TH751|TH703
• 字数: 3406字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111906.1185

摘要

针对国内外现有薄膜反射镜面形检测方法存在动态测量不便,测量面形单一等问题,提出了基于正弦条纹投影的反射镜面形测量方法.基于此方法搭建了测量平台,分析推导显示,该方法的测量不确定度＜0.385 μm,该平台的测量不确定度＜4.25 μm.在此平台上对标准球面镜进行了测量,验证了此平台的适用性.最后,对优化控制下的Ф300mm静电拉伸薄膜反射镜的面形进行了多次测量,结果表明,中心矢高测量值与理论值基本一致,优化后最佳镜面面形RMS值为5 μm,PV值为39 μm,相对于优化前RMS值减少了34.17％,PV值减少了26.4％,显示所搭建的基于正弦条纹投影方法的测量平台满足了现阶段薄膜反射镜面形测量的需要；而提出的面形控制算法可控制薄膜反射镜得到所需面形,并有效地提高面形精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟兴	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	33	215	6.0	14.0
2	金光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	202	2450	24.0	39.0
3	张鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	220	1605	21.0	32.0
7	张元	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	79	6.0	8.0
8	张雷	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	290	5752	38.0	64.0
9	姚劲松	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	14	176	9.0	13.0