薄膜反射镜静电成形机理研究

• 作者: 张鹰 金光
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 空间光学 薄膜反射镜 静电拉伸 面形控制
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用文学
• 页码范围: 267-273
• 页数: 7页
• 分类号: TH743|O484.4
• 字数: 4388字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.02.006

摘要

为了控制薄膜反射镜面形,建立了静电拉伸薄膜反射镜物理模型.根据静电力与薄膜变形载荷作用力之间的平衡关系和静电拉伸薄膜反射镜成形的复杂过程,介绍了薄膜反射镜静电成形的控制原理;以三等分环状电极为例,分析了静电场中空间电势分布特性,即从拉普拉斯方程推导出静态场势函数的表达式;然后,利用差分与电势方程结合的方法,对单电极电场力和三等分环状电极电场力进行了数值求解;最后,将计算面形与理想抛物面进行了比较,结果显示,单电极情况下得到的薄膜反射镜面形不是理想抛物面,若采用多电极控制可获得更高的控制精度.模拟结果和实验结果表明:多电极控制情况比单电极情况下受力更接近均布力分布,口径180 mm的薄膜反射镜在相同口径单电极控制下,施加10 000 V电压可得到反射镜最大变形为0.001 094 8 mm.系统长时间工作安全稳定,薄膜变形的对称性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	202	2450	24.0	39.0