静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制

• 作者: 张元 张鹏 金光 钟兴
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 静电拉伸薄膜 薄膜反射镜 成形控制 反演求解
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 344-351
• 分类号: TH751|TH703
• 字数: 3316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122002.0344

摘要

针对现有薄膜反射镜成形控制方法存在求解复杂,工程实用性差等问题,提出了基于反演求解的半解析成形控制方法.首先,基于Karman方程和静电场理论推导了所要拉伸的抛物面面形与施加压强分布的关系及实验所需的离散电极环电压值；其次,利用有限元软件建模和分析,验证所推导的压强分布；最后,在口径为300 mm的三环电极的静电拉伸反射镜实验平台上进行了验证实验.实验显示,拉伸面形最大变形量与理论值基本吻合,面形误差与传统均匀压强下的相比有所减少,最好的实验结果得到的PV值和RMS值较均匀压强下的值分别减少了9.76％和15.38％.仿真及实验结果表明:所描述的方法可以控制面形并提高面形精度,与传统的成形控制方法相比较具有简单实用等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟兴	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	33	215	6.0	14.0
2	金光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	202	2450	24.0	39.0
3	张鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	220	1605	21.0	32.0
7	张元	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	79	6.0	8.0