薄膜反射镜的单电极控制静电成形

• 作者: 孙小伟 安源 艾晨光 蒋宁 金光 齐迎春
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜反射镜 单电极控制 静电拉伸
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1964-1970
• 页数: 7页
• 分类号: TH704
• 字数: 3646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.08.028

摘要

考虑薄膜反射镜具有质量轻、柔韧性好、可折叠等优点,研究了由静电拉伸法制备薄膜反射镜的新技术.介绍了薄膜反射镜的静电成形机理,计算了单电极模式下薄膜所受力场,设计了单电极式薄膜反射镜的控制实验.给出了控制成型所需的主要参数,设计了薄膜反射镜的夹持结构和控制电路,并利用刀口仪测量了形成的反射面的焦距.实验结果显示,未通电时薄膜反射镜面形的PV值达到11.14λ, RMS值为1.86λ,在10 000 V的高压下可以形成焦距约为2.1 m的反射镜面.通过Zernike拟合验证了数据的可靠性,结果表明,通过改善夹持结构精度和选取性能优良的薄膜材料,反射镜面形精度可进一步提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	202	2450	24.0	39.0
2	安源	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	32	437	12.0	20.0
3	蒋宁	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	132	8.0	11.0
4	孙小伟		5	50	2.0	5.0
5	艾晨光		3	87	3.0	3.0