基于ANSYS的之字型微谐振器的仿真分析

• 作者: 张鹏程 沈雪瑾 袁磊 陈晓阳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微谐振器 ANSYS 建模 仿真
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 233-236
• 页数: 4页
• 分类号: TH703|O441
• 字数: 2736字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.05.009

摘要

利用大型通用有限元仿真软件ANSYS7.0,对之字型微谐振器的简化力学模型进行静态和模态分析,得到水平方向的最大位移和谐振频率等重要性能参数.将仿真结果与理论分析计算的结果进行对比,两者有较好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓阳	上海大学机械自动化系	138	1179	18.0	25.0
2	沈雪瑾	上海大学机械自动化系	50	327	9.0	15.0
3	袁磊	上海大学机械自动化系	4	17	3.0	4.0
4	张鹏程	上海大学机械自动化系	3	16	3.0	3.0