H2/CH4/H2S/Ar气氛合成n型金刚石薄膜过程中硫分布的数值模拟

• 作者: 乔晓东 刘保亭 南景宇 张靖 赵庆勋 闫正
• 来源期刊: 河北大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: Monte Carlo 方法 金刚石薄膜 n型掺杂 EACVD
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 369-372,398
• 页数: 5页
• 分类号: O53
• 字数: 2385字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2005.04.008

摘要

本工作采用Monte Carlo方法,根据辉光放电理论,对以H2S为掺杂源气体采用EACVD技术合成n型硫掺杂的金刚石薄膜的动力学过程进行了模拟.得出不同气压、偏压情况下n型硫掺杂的金刚石薄膜的动力学过程中掺杂元素S和S+粒子数分布,计算结果对掺杂过程的研究具有参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	赵庆勋	河北大学物理科学与技术学院	54	254	10.0	13.0
3	闫正	河北大学物理科学与技术学院	56	252	9.0	11.0
4	南景宇	河北大学物理科学与技术学院	25	57	5.0	6.0
6	张靖	河北大学物理科学与技术学院	18	32	3.0	5.0
7	乔晓东	河北大学物理科学与技术学院	5	11	2.0	3.0