精密平面定位技术

• 作者: 余玲玲 内田敬久 刘京南 张金龙
• 来源期刊: 东南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 平面定位 莫尔信号 差动技术 微机控制
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 456-459
• 页数: 4页
• 分类号: TP274+.5
• 字数: 2902字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-0505.2005.03.028

摘要

针对精密平面定位影响因素多、控制复杂及定位困难等问题,提出了一种新的精密平面定位方法,该方法采用激光莫尔技术,以上下2组100 μm的衍射光栅作为定位标记,通过微机闭环控制,可实现X-Y-θ三自由度的全自动精密平面定位.2组光栅相位相差180°,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏度及定位精度.系统在软、硬件方面采取的一系列抗干扰措施,确保了较高的定位精度及工作可靠性.实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密定位装置可获得亚微米级的平面定位精度,对精密加工工程等领域具有重要的实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张金龙	东南大学自动控制系	66	447	11.0	18.0
5	刘京南	东南大学自动控制系	49	580	11.0	23.0
6	余玲玲	东南大学自动控制系	29	429	9.0	20.0