一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验

• 作者: 唐力强 张宾 梅涛 马以武
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷 电容 压力 传感器
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2005.03.004

摘要

陶瓷电容式压力传感器具有抗腐蚀、耐高温、高精度、高稳定性、无污染和抗过载等优点,在工业中将有广泛用途.但是,其芯片目前国内尚无厂家可以生产.应客户要求,我们对陶瓷电容式压力传感器进行了设计、建模、制作和实验,并使之满足批量生产的需要.