激光干式清洗

• 作者: 刘淑静 宋峰 邹万芳
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干式清洗 基底吸收 污染物吸收
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 专题讲座
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TN249
• 字数: 1968字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2005.08.008

摘要

针对干式清洗中只被基底吸收和只被污染物吸收两种简单情况讨论了激光干式清洗的物理机理,并且给出了激光干式清洗典型的实验装置图.最后介绍了在激光干式清洗中与基底表面粒子相关的一些物理问题:光学谐振和近场效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋峰	南开大学物理学院光子学中心	75	889	17.0	25.0
2	刘淑静	南开大学物理学院光子学中心	17	332	11.0	17.0
3	邹万芳	南开大学物理学院光子学中心	8	145	7.0	8.0