激光束诱导电流在HgCdTe双色探测器工艺检测中的应用

• 作者: 何力 叶振华 廖清君 张海燕 胡晓宁 蔡炜颖 陈贵宾
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光束诱导电流 HgCdTe 干法刻蚀 双色探测器
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 459-462
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 1986字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2005.06.014

摘要

报道了激光束诱导电流(LBIC)在碲镉汞(HgCdTe)红外双色探测器工艺检测中的应用.通过LBIC测试,发现p型HgCdTe材料由B+离子注入损伤形成的n区面积大于其注入面积,并获得n区横向的精确分布.同时,运用LBIC,获得了p型HgCdTe材料因不同能量的等离子体干法刻蚀诱导的刻蚀台面侧壁工艺损伤形成的n区横向分布,并得到了n区横向宽度与等离子体能量的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡晓宁	中国科学院上海技术物理研究所	31	241	9.0	14.0
2	张海燕	中国科学院上海技术物理研究所	68	628	14.0	22.0
3	何力	中国科学院上海技术物理研究所	54	417	13.0	17.0
4	蔡炜颖	中国科学院上海技术物理研究所	9	17	2.0	3.0
5	叶振华	中国科学院上海技术物理研究所	29	259	9.0	14.0
6	陈贵宾	中国科学院上海技术物理研究所	5	28	2.0	5.0
7	廖清君	中国科学院上海技术物理研究所	4	34	2.0	4.0