碲锌镉表面腐蚀坑所对应缺陷的特性研究

• 作者: 何力 刘从峰 孙士文 方维政 杨建荣 涂步华
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 碲锌镉 腐蚀坑密度 位错 微沉淀缺陷 热处理
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 碲镉汞外延和衬底材料
• 页码范围: 849-852
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+5|O472+.1
• 字数: 3461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2005.11.015

摘要

文中通过使用Nakagawa、Everson、EAg1和EAg2四种常用腐蚀剂对碲锌镉材料的腐蚀坑空间分布特性进行研究,结果显示,20μm厚的(111)晶片A、B面上的腐蚀坑在空间位置上不存在对应关系,这表明腐蚀坑所对应的缺陷不是具有穿越特性的位错.腐蚀坑的空间局限性特征和热处理后腐蚀坑密度(EPD)减少等实验结果表明,腐蚀坑更有可能对应某种微沉淀物缺陷,将目前常用腐蚀剂的EPD作为碲锌镉材料的位错密度是缺乏实验依据的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建荣	中国科学院上海技术物理研究所功能材料与器件研究中心	38	175	7.0	11.0
2	涂步华	中国科学院上海技术物理研究所功能材料与器件研究中心	5	5	1.0	2.0
3	方维政	中国科学院上海技术物理研究所功能材料与器件研究中心	20	91	6.0	8.0
4	刘从峰	中国科学院上海技术物理研究所功能材料与器件研究中心	8	30	3.0	5.0
5	孙士文	中国科学院上海技术物理研究所功能材料与器件研究中心	16	28	3.0	4.0