EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试

• 作者: 叶彬浔 宋谦 巩岩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: EUV MCP CCD 空间分辨率
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TB852.1
• 字数: 1708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.z1.013

摘要

研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试.EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14 μm,像元数2 048×2 048.在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1 nm波长处,空间分辨率达到19 μm,相当于极限分辨率为26 lp/mm.