一种热驱动微型电场传感器设计与仿真

• 作者: 叶超 夏善红 彭春荣 陈绍凤 陈贤祥 龚超
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 热驱动 微型 电场传感器 仿真
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 287-288,292
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.100

摘要

设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感器的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结果,计算了感应电流的大小;讨论了所涉及的工艺过程.