[(BaTiO3)m/(SrTiO3)m]n超晶格生长的RHEED实时研究

• 作者: 姚海军 姜斌 张鹰 李燕 蒋书文 邓宏 魏雄邦
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 反射高能电子衍射(RHEED) 超晶格 外延生长
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 178-181
• 页数: 4页
• 分类号: TN1
• 字数: 1802字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.02.025

摘要

利用反射高能电子衍射(RHEED),研究了在SrTiO3(100)基片上采用激光分子束外延法生长的[(Ba-TiO3)m/(SrTiO3)m]n超晶格薄膜的生长特性.观察到清晰明亮的反射高能电子衍射花样及富有周期性的RHEED振荡曲线,制备的超晶格呈现良好的结晶层状外延生长,薄膜表面及界面的平整度很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹰	电子科技大学微电子与固体电子学院	47	169	7.0	9.0
2	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
3	蒋书文	电子科技大学微电子与固体电子学院	30	197	7.0	12.0
4	李燕	电子科技大学微电子与固体电子学院	29	259	9.0	15.0
5	姜斌	电子科技大学微电子与固体电子学院	21	169	6.0	12.0
6	魏雄邦	电子科技大学微电子与固体电子学院	18	94	6.0	8.0
7	姚海军	电子科技大学微电子与固体电子学院	2	2	1.0	1.0