求解静电驱动微梁变形的数值与解析方法

• 作者: 樊康旗 王洪喜 贾建援
• 来源期刊: 机械设计与研究
• 学科: 物理学
• 关键词: 微电子机械系统 悬臂梁 临界电压
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 新机构与新装置
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: O339|O444
• 字数: 3140字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2343.2005.02.011

摘要

给出了一种静电力作用下微悬臂梁控制方程的数值求解方法,提出了求解该模型的近似解析式和修正解析式,并采用模态叠加法计算微梁的动响应.结果表明,修正解析式、数值算法和动响应方法计算的微梁变形结果是一致的.同时也揭示了微梁振动响应周期与驱动电压成正比、动态临界电压低于静态临界电压等相关特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	王洪喜	西安电子科技大学机电工程学院	16	136	7.0	11.0
3	樊康旗	西安电子科技大学机电工程学院	23	250	8.0	15.0