原文服务方: 杭州电子科技大学学报(自然科学版)       
摘要:
镍铁基合金薄膜是各向异性磁电阻传感器常用的传感材料,基于光刻工艺的弱磁场传感器的灵敏度与传感头的图形设计有关,传感头磁电阻图形的优化设计可以使薄膜具有更好的各向异性磁电阻效应.在研究了基于光刻工艺的弱磁场传感器基础上,为了提高弱磁场的测试灵敏度,结合具体的光刻工艺对传感头的磁电阻图形作了优化设计.结合对具体的材料分析阐述了设计原理,给出了设计对灵敏度和输出产生的影响.
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文献信息
篇名 AMR薄膜弱磁场传感头的优化设计
来源期刊 杭州电子科技大学学报(自然科学版) 学科
关键词 各向异性磁电阻 磁场 传感器 优化设计
年,卷(期) 2005,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 10-13
页数 4页 分类号 TN304.055
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-9146.2005.06.003
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
各向异性磁电阻
磁场
传感器
优化设计
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
杭州电子科技大学学报(自然科学版)
双月刊
1001-9146
33-1339/TN
chi
出版文献量(篇)
3184
总下载数(次)
0
总被引数(次)
11145
相关基金
浙江省自然科学基金
英文译名:
官方网址:http://www.zjnsf.net/
项目类型:一般项目
学科类型:
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