2纳米金属线开创半导体工艺新纪元

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 金属线 半导体工艺 纳米 科技领域 科技部 科学家
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 25
• 页数: 1页
• 分类号: TN305

摘要

韩国科技部正式表示，本国科学家已经成功研制出了全球最薄的金属线，而这一成功也被视为足以震惊科技领域的重大突破。