滑流边界条件下MEMS微圆盘的气体压膜阻尼分析

• 作者: 王卫东 贾建援
• 来源期刊: 机械设计与研究
• 学科: 工学
• 关键词: 滑流 气膜阻尼 压膜 微圆盘 粘度修正
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 新机构与新装置
• 页码范围: 53-55
• 页数: 3页
• 分类号: TH7037
• 字数: 2026字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2343.2005.06.015

摘要

在考虑滑流边界条件的基础上,分析了微缝隙间气体流动的特性,提出了一种粘度修正的分析方法.基于微缝隙气流的粘度修正模型,分析了气体对微圆盘的压膜阻尼效应,得到微圆盘表面的压强分布、压膜阻尼力和压膜阻尼系数的解析解.通过与有限元数值解进行对比,两者结果吻合非常好,误差小于0.0468%,证实了解析解的正确.指出MEMS微圆盘的气体压膜阻尼不但与结构尺寸有关,而且与固体壁面的材质、粗糙度和光洁度等有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	王卫东	西安电子科技大学机电工程学院	33	132	6.0	9.0