激光熔蒸制备纳米硅微粒的Raman分析

• 作者: 张芹 林华传 谢可 陈松岩 黄传敬
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 纳米硅 拉曼散射光谱 激光熔蒸
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 信息科学与技术
• 页码范围: 330-333
• 页数: 4页
• 分类号: O657.37
• 字数: 4303字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2005.z1.080

摘要

以流动气体(N2,Ar2)作为反应环境,利用开放式激光熔蒸系统,通过改变制备参数:熔蒸激光强度,流动气体种类及其流速,激光熔蒸时间,制备出一系列纳米硅样品.利用Raman光谱对在不同参数下所得到的样品表面形貌进行分析,可以看出,激光强度对生成的样品表面形貌有最直接的影响,并决定生成粒子的大小,而流动气体的种类则影响着沉积粒子的分布及其大小.流动的气体防止生成的纳米硅在开放系统中被氧化,而激光熔蒸时间对样品表面形貌的作用则表现的不是很明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈松岩	厦门大学物理学系	68	248	8.0	12.0
2	谢可	厦门大学物理学系	3	9	2.0	3.0
3	林华传	厦门大学物理学系	3	9	2.0	3.0
4	张芹	厦门大学化学系	3	9	2.0	3.0
5	黄传敬	厦门大学化学系	7	41	3.0	6.0