双振镜激光扫描加工误差原因分析

• 作者: 孙会来 林树忠
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 激光加工 振镜扫描 加工误差 OEF图形算法 DEA控制模型
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 激光技术
• 页码范围: 161-163
• 页数: 3页
• 分类号: TN209
• 字数: 2082字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2005.03.006

摘要

分析了双振镜激光加工中误差产生的原因,并针对每一种误差产生的原因提出了校正补偿的方法.指出扫描加工误差并不是单一原因引起的,而是多种原因共同作用的结果.提出OEF图形控制算法,建立DEA控制模型以及采用高精度扫描控制器可有效地降低激光扫描加工误差,提高加工精度.同时,此误差校正方法同样适合高精度激光多普勒扫描测量系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林树忠	天津工业大学机电学院	25	523	10.0	22.0
2	孙会来	天津工业大学机电学院	45	252	7.0	15.0