HgCdTe微台面红外焦平面技术研究

• 作者: 刘明 孙浩 朱西安 王成刚 胡小燕
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: HgCdTe 微台面结构 干法刻蚀 侧向钝化
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 碲镉汞红外器件
• 页码范围: 826-828
• 页数: 3页
• 分类号: TN205|TN305
• 字数: 2393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2005.11.008

摘要

文章报导了采用液相外延(LPE)生长P型材料、B离子注入成结、全干法深台面刻蚀、深台面侧向钝化及电极引出技术制备出中波320 × 256HgCdTe微台面阵列结构,其相元中心距为30μm,截止波长为5.0μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱西安		8	50	3.0	7.0
2	孙浩		15	51	3.0	7.0
3	胡小燕		9	57	5.0	7.0
4	王成刚		17	60	4.0	7.0
5	刘明		2	8	1.0	2.0