碳纳米管薄膜湿度传感器及其机理

• 作者: 廖克俊 曹春兰 李丽 杨晓红 韦逢艳
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 传感器 化学修饰 湿敏机理
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 179-181
• 页数: 3页
• 分类号: TB383
• 字数: 3303字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.061

摘要

制备了以碳纳米管薄膜为湿敏元件的湿度传感器,研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.实验中所用碳纳米管由化学气相沉积法(CVD)合成.实验结果表明,用酸处理后的多壁碳纳米管制得的薄膜湿敏元件的感湿范围宽、灵敏度高、湿滞回差小、响应时间快、稳定性好,可望成为一类新型的湿度传感器.对湿敏机理进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖克俊		66	513	12.0	19.0
2	杨晓红		39	223	8.0	13.0
3	韦逢艳		4	14	2.0	3.0
4	李丽		27	426	12.0	20.0
5	曹春兰		6	36	4.0	6.0