光学衍射法细圆柱体直径测量的不确定度

• 作者: 唐文彦 崔建文 张军 李慧鹏
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 直径测量 圆柱体测量 夫琅和费衍射 测量误差
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2721字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2005.07.016

摘要

为了提高光学衍射法细圆柱体直径测量精度,用递归法建立了更精确的改进模型.运用改进模型测量细圆柱体直径时,克服了传统测量模型由衍射角引起的原理误差,提高了测量精度.光源的波长误差、暗条纹位置误差和透镜焦距调整误差均会产生测量不确定度,使用改进模型时的计算值分别为0.024μm,1.920μm和0.529μm.细圆柱体直径测量实验结果表明,基于改进模型的光学衍射法的相对测量误差在0.5% 以下,优于目前1% 的水平;测量不确定度小于2μm,与理论分析相一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐文彦	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	110	1338	21.0	31.0
2	李慧鹏	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	24	340	10.0	18.0
3	张军	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	76	682	14.0	23.0
4	崔建文	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	4	40	3.0	4.0