闪耀式光栅光调制器及其机电耦合分析与仿真

• 作者: 张智海 张洁 闫许 陈伟民 黄尚廉
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微光机电系统 光栅光调制器 悬臂梁 机电特性
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 227-230
• 页数: 4页
• 分类号: TN761
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.078

摘要

提出一种基于微悬臂梁结构的新型闪耀式光栅光调制器,介绍其结构组成及工作原理.建立了器件的两种假设受力模型Ⅰ、模型Ⅱ,根据极小势能原理推导出器件变形方程,通过瑞利-里茨法则得出器件的固有频率,从理论上分析器件的结构尺寸、材料性能对吸合电压、固有频率的影响.最后通过Coventorware软件对器件进行机电耦合仿真,通过对比,模型Ⅱ更为合理,分析结果为器件的制造提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁		77	522	12.0	19.0
2	陈伟民		311	4748	37.0	51.0
3	黄尚廉		164	3610	34.0	51.0
4	张智海		38	198	9.0	12.0
5	闫许		7	83	5.0	7.0