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光栅平动式光调制器光学特性分析
光栅平动式光调制器光学特性分析
作者:
付红桥
张智海
张洁
闫许
黄尚廉
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微光机电系统
空间光调制器
光栅衍射
光学分析
仿真
摘要:
提出了一种基于微光机电系统的可用于投影显示及相关器件的新型光栅光调制器,介绍了其结构、工作原理和加工流程.对器件进行光学分析,优化和仿真,得出器件结构参数与光学特性之间关系.器件的可动光栅占空比e=0.5,光栅常数d=6 μm,长度L=39 μm,宽度w=36 μm,边距w0=1.5 μm时,理论上±1级衍射效率η=37.0%,对比度V=625;可动光栅与下电极在开态和关态时间距分别为0.65 μm和0.78 μm,器件单像素尺寸为51 μm×51 μm.
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调制器
波长扫描
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内容分析
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内容分析
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相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
光栅平动式光调制器光学特性分析
来源期刊
光学精密工程
学科
工学
关键词
微光机电系统
空间光调制器
光栅衍射
光学分析
仿真
年,卷(期)
2006,(5)
所属期刊栏目
现代应用光学
研究方向
页码范围
749-753
页数
5页
分类号
TN256|TN761.92
字数
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-924X.2006.05.005
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张洁
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
77
522
12.0
19.0
2
黄尚廉
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
164
3610
34.0
51.0
3
张智海
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
38
198
9.0
12.0
4
付红桥
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
24
232
8.0
14.0
5
闫许
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
7
83
5.0
7.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(1)
节点文献
引证文献
(7)
同被引文献
(16)
二级引证文献
(17)
1998(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2006(1)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2006(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2007(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2008(4)
引证文献(1)
二级引证文献(3)
2009(4)
引证文献(2)
二级引证文献(2)
2010(6)
引证文献(1)
二级引证文献(5)
2012(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2013(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2014(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2016(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
微光机电系统
空间光调制器
光栅衍射
光学分析
仿真
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
期刊文献
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