光栅平动式光调制器的光学特性分析和仿真

• 作者: 伍艺 张智海 张洁 闫许 黄尚廉
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射 光栅 光调制器 MEMS
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 218-220
• 页数: 3页
• 分类号: TN761
• 字数: 1746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.075

摘要

光栅平动式光调制器是一种基于MEMS工艺的光调制器,依据菲涅尔衍射理论和傅里叶光学理论对光栅平动式光调制器工作状态的光学特性进行了详细的理论分析和计算机仿真.结果表明:光栅平动式光调制器在工作中处于开态时,可动光栅下降的距离应该是入射波长的1/4;设计时,关态选择h=λ0/2;占空比对光栅平动式光调制器的光学特性有着重要影响,最佳占空比为1/2;高度误差对调制器的开关系数影响很大,要精确控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁		77	522	12.0	19.0
2	黄尚廉		164	3610	34.0	51.0
3	张智海		38	198	9.0	12.0
4	闫许		7	83	5.0	7.0
5	伍艺		5	45	4.0	5.0