蟹型悬臂梁对光栅平动式光调制器性能的影响

• 作者: 付红桥 孙吉勇 张智海 张洁 黄尚廉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 傅里叶光学 MEMS 光栅平动式光调制器
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 315-320
• 页数: 6页
• 分类号: TN761
• 字数: 1992字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.03.003

摘要

基于MOEMS(Micro-opto-electro-mechnical Systems)的光栅平动式光调制器依靠结构中的蟹型悬臂梁在静电力作用下的上下运动来改变可动光栅和下反射面的距离,从而实现对光能量的调制.本文依据傅里叶光学对光栅平动式光调制器(Grating Moving Light Modulator,GMLM)工作状态的光学特性进行了详细的理论分析和计算机仿真.分析了可动光栅的光栅周期数为偶数和奇数时,由于几何中心的不同,使得采用傅里叶光学分析时透过率函数不同的问题,并对GMLM衍射光能量的分布进行了详细的理论推导;重点讨论了GMLM结构中边框和蟹型悬臂梁对对比度的影响.结果表明,为了得到较高的对比度,应减小边框宽度、悬臂梁的宽度和长度,文章用图形给出了直观说明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	77	522	12.0	19.0
2	黄尚廉	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	164	3610	34.0	51.0
3	张智海	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	38	198	9.0	12.0
4	孙吉勇	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	14	169	6.0	13.0
5	付红桥	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	24	232	8.0	14.0