反射面平动式光栅光调制器的实现及机电特性分析

• 作者: 伍艺 张智海 张洁 黄尚廉
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 光栅光调制器 多层梁 弹簧振子
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 1251-1253,1262
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.5|TH703.8
• 字数: 2219字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.14.009

摘要

提出了一种新型的光栅光调制器(GLM),它由可动平板阵列和固定光栅构成,通过可动平板的垂直运动,达到调制光束的目的.为验证该结构实现的可能性,得到器件的机电特性,根据微梁的力学理论进行了电力学理论分析,通过Coventor仿真软件进行了有限元仿真.分析表明,该器件所需驱动电压为16V,无明显的迟滞现象,可动平板的有效衍射面积较大,易于实现面阵结构,提高了光学衍射效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	77	522	12.0	19.0
2	黄尚廉	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	164	3610	34.0	51.0
3	张智海	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	38	198	9.0	12.0
4	伍艺	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	5	45	4.0	5.0