反射式椭偏测试系统的全局优化算法

• 作者: 周建华 洪志哲 游佰强
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 椭圆偏振法 折射率和膜厚 全局优化算法
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 数字与图像处理
• 页码范围: 214-216
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5|TH744.3
• 字数: 2812字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2005.03.022

摘要

首先针对可变入射角的反射法消光椭偏测试系统,讨论其计算公式和求解思路,建立了全局目标优化函数,提出一种网格优化算法,即计算中可半智能跟踪最优解的方法.利用新算法解决了求解中的多峰问题,从而可以高精度计算薄膜的折射率与厚度.开发了相关软件,处理进口椭偏仪测量的消光参数,获得了大入射角条件下SiO2薄膜的折射率和厚度,并与其它方法的计算结果进行对比分析,发现此方法计算结果可以达到更高的精度,有利于指导微米到纳米级复杂结构和成分的薄膜光波导的性能分析.最后通过对较小入射角实测数据的分析,指出了传统理论模型在光斑干涉效应及衍射效应方面的不足.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	游佰强	厦门大学电子工程系	28	231	10.0	14.0
2	周建华	厦门大学电子工程系	10	102	6.0	10.0
3	洪志哲	厦门大学电子工程系	1	1	1.0	1.0