MEMS及微系统的计算机模拟与辅助设计

• 作者: 刘晓为 张丹 揣荣岩 田丽 陈伟平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 微系统 计算机辅助设计 模拟 仿真器
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 299-301
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.94
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.104

摘要

介绍了MEMS CAD的特点及MEMS与微系统的设计方法,对MEMS CAD系统中的系统级、器件行为级、器件物理级及工艺级等各级仿真器的特点、相互关系及在MEMS CAD中的作用进行了分析,并对MEMS CAD方法、MEMS与微系统的EDA工具进行了综述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田丽		10	37	3.0	6.0
2	刘晓为		42	140	7.0	10.0
3	揣荣岩		31	90	5.0	8.0
5	陈伟平		19	73	5.0	7.0
6	张丹		11	38	3.0	6.0