探测出隐藏各种缺陷的空洞检测系统

• 作者: 杨建生 陈建军
• 来源期刊: 电子质量
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆片凸点空洞 检查系统 特征 应用
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 产品解决方案
• 页码范围: 21,9
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 1549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2005.02.009

摘要

本文主要介绍了专用于探查晶圆片凸点空洞的装置--德国FeinFocus公司的WBI-FOX型自动化X 射线检查系统.并简要叙述了此装置的主要特征和应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建生		65	67	4.0	5.0
2	陈建军		7	12	2.0	3.0