纳米压痕硬度尺寸效应的残余面积最大压深模型

• 作者: SHAHJADA A P 周亮 姚英学
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压痕尺寸效应 残余面积最大压深模型 原子力显微镜 硬度 单晶硅
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 页码范围: 817-821
• 页数: 5页
• 分类号: TB302.3
• 字数: 2510字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2005.07.005

摘要

针对材料在纳米压痕硬度测试实验中出现的压痕尺寸效应,通过对单晶硅的纳米压痕实验,得到压痕的真实最大压深,再利用原子力显微镜获得压痕的三维形貌,并结合Matlab软件得到压痕的真实残余面积.以残余面积和最大压深为变量,提出了一种新的描述硬度压痕尺寸效应的模型--残余面积最大压深模型,此模型能更好地描述和理解纳米压痕硬度的尺寸效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周亮	哈尔滨工业大学机电学院	34	354	10.0	18.0
2	姚英学	哈尔滨工业大学机电学院	136	2556	28.0	41.0
3	SHAHJADA A P	哈尔滨工业大学机电学院	2	31	2.0	2.0