利用纳米压痕技术对单晶铝作压痕试验,获得载荷-压深的加载和卸载曲线.根据Oliver-Pharr方法求出压头与测试材料之间接触表面的投影面积Ac和硬度值Hop.再利用原子显微镜(atomic force microscopy, AFM)得到压痕的真实三维形貌图.结合Matlab对压痕进行分析,得到压痕的真实残余面积Aresidual,并计算出其硬度Hresidual.通过对两组单晶铝的硬度数据进行比较分析:在微纳米尺度下,两种方法计算得到的压痕硬度都存在压痕尺寸效应,Hresidual的压痕尺寸效应比Hop要更明显.