直接面积法测量纳米硬度技术的研究

• 作者: 周亮 姚英学
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 纳米压痕 硬度 直接面积法 单晶硅
• 年，卷（期）: 2005,（22）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 2052-2055
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 2697字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.22.020

摘要

利用纳米压痕技术对单晶硅做纳米压痕试验,得到其载荷-压深曲线.用原子力显微镜测出压痕的三维形貌,结合Matlab软件,直接计算出压痕的残余面积,从而得到单晶硅的纳米硬度值.通过对直接面积法与Oliver-Pharr方法测出的硬度值进行分析比较,发现两种方法得到的硬度值都有压痕尺寸效应,但用直接面积法得到的硬度值比用Oliver-Pharr方法得到的硬度值尺寸效应更明显一些.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周亮		34	354	10.0	18.0
2	姚英学		136	2556	28.0	41.0