显微硬度法与纳米压入法测量微米级硬质薄膜硬度的比较

• 作者: 张平 杜军 蔡志海 贾大雷 赵军军
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 硬度 显微硬度 纳米压入 硬质薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 试验技术与方法
• 页码范围: 189-192
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.5.1
• 字数: 2885字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2008.04.007

摘要

测定了离子束辅助沉积TiN,CrN薄膜的纳米压入硬度(Hnano值)、维氏显微硬度(Hv值)和努氏显微硬度(Hk值).结果发现,HK值比Hv值更接近于Hnano值,相对较为准确.膜的厚度(t)越薄,三种方法测得硬度值差别越大;膜的厚度越厚,差别越小.随着膜的厚度增加,HK值和Hv值逐渐接近Hnano值.t≈5.0μm时,Hv≈HK≈Hnano.对于硬膜软基体模型,如果膜厚＞5.0μm,可以采用显微硬度计较为准确地测量薄膜硬度;膜厚＜5.0μm时,应避免使用显微硬度法而采用纳米压入法.