PZT厚膜压电悬臂梁结构的有限元分析

• 作者: 刘景全 徐峥谊 方华斌 蔡炳初 陈迪
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电悬臂梁 低频 谐振 有限元分析 电压输出
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 257-260
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1537字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.090

摘要

设计了一种硅微悬臂梁结构,在低频环境中以压电厚膜进行信号转换、谐振.使用有限元分析软件ANSYS对结构建模,并进行模态和谐响应分析.模拟分析的结果表明:通过制备添加金属质量块及选择合理的尺寸范围,结构固有频率可在100～1500Hz之间;该结构在共振条件下将运动信号转换为电压信号输出时,电压可达0.4V以上,足以开启双锗二极管进行电路整流.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘景全	上海交通大学微细加工国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	24	232	7.0	15.0
2	陈迪	上海交通大学微细加工国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	38	301	8.0	16.0
3	方华斌	上海交通大学微细加工国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	4	26	3.0	4.0
4	蔡炳初	上海交通大学微细加工国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	49	769	15.0	26.0