用于红外探测的微型悬臂梁的结构模拟

• 作者: 张流强 温志渝 邓大卫
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微型悬臂梁 红外探测 灵敏度 模拟
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 233-235
• 页数: 3页
• 分类号: TH89|TN402
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.080

摘要

一种用MEMS微加工技术制造的微型悬臂梁已经开始应用于红外探测技术中,悬臂梁由双层材料构成,衬底由硅、氮化硅等半导体材料制作,另一层则是一种热敏金属材料薄膜.在没有红外辐射情况下,悬臂梁的两侧表面应力是平衡的,而一旦有红外辐射到一侧的热敏薄膜材料后,引发该材料膨胀,迫使微型悬臂梁发生弯曲变形.用有限元分析软件ANSYS对该悬臂梁进行模拟仿真,改变结构参数,观察灵敏度的变化情况.除灵敏度外,还给出了悬臂梁的温度场分布和应力场分布图.获得的数据证明结构参数的设计对微型悬臂梁的灵敏度至关重要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝		143	1259	18.0	26.0
2	张流强		34	188	7.0	11.0
3	邓大卫		1	0	0.0	0.0