MEMS中的摩擦学研究及发展趋势

• 作者: 李洲洋 陈国定
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米摩擦学 微机电系统(MEMS) 固体薄膜润滑 超薄膜润滑
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 180-186,204
• 页数: 8页
• 分类号: TH117
• 字数: 9079字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2005.04.061

摘要

对近年国内外MEMS摩擦学研究的新进展作了综述,介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性,讨论了包括环境条件、材料处理、表面改性、固体薄膜润滑、分子超薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况,并提出了当前相关研究中所遇到的问题,及今后MEMS摩擦学发展的方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈国定	西北工业大学机电学院	214	2303	23.0	36.0
2	李洲洋	西北工业大学机电学院	20	184	9.0	13.0