基于微型悬臂梁的发电机制探索

• 作者: 张海军 朴相镐 杜小振 褚金奎
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微型悬臂梁 压电陶瓷 微能源 MEMS
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳操作装配及微电池技术等
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TK01
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.012

摘要

微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展.在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置.借助微型硅悬臂梁质量块的振动和PZT的正压电效应,实现振动机械能向电能转换.该装置结构简单、体积小、质量小,可以用MEMS集成加工工艺实现结构加工,因此与其他微型MEMS器件可以集成在一个基础上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚金奎	大连理工大学微系统研究中心	119	1260	20.0	30.0
2	杜小振	大连理工大学微系统研究中心	9	205	8.0	9.0
3	朴相镐	大连理工大学微系统研究中心	4	68	3.0	4.0
4	张海军	大连理工大学微系统研究中心	4	50	3.0	4.0