MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响

• 作者: 刘天伟 张治国 徐军 董闯 邓新禄
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化锆薄膜 ECR等离子体 磁控溅射 诊断
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 3257-3262
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.07.049

摘要

采用静电探针技术对微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体进行了诊断,利用等离子体增强非平衡磁控溅射(PE-UMS)法在常温下制备了Zr-N薄膜,通过EPMA,XRD,显微硬度对膜的结构和性能进行评价.实验结果表明,随氮气流量增加,总的等离子体密度从8.07×109cm-3增加到8.31×109cm-3然后逐渐减小为7.52×109 cm-3;而N2+密度则从3.12×108 cm-3线性递增到3.35×109cm-3;电子温度变化不大.对薄膜而言,随N2+密度增大,样品中氮含量增加,而晶粒逐渐变小,当样品中N/Zr原子比达到1.4时,薄膜中出现亚稳态的Zr3N4相以及非晶相,在更高氮流量下,整个薄膜转变为非晶态.与此相应,薄膜硬度由最初的22.5GPa增大到26.78GPa然后逐渐减小到19.82GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董闯	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	198	2023	23.0	34.0
2	徐军	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	51	346	11.0	14.0
3	刘天伟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	69	4.0	7.0
4	邓新禄	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	10	210	8.0	10.0
5	张治国	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	6	39	4.0	6.0