LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质

• 作者: 占美琼 张伟丽 范正修 谭天亚 邵建达
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: ZrO2 LBO晶体 电子束蒸发 择优取向
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 晶体材料及相关技术
• 页码范围: 143-146
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2270字
• 语种: 中文

摘要

用电子束蒸发方法在三种不同取向的三硼酸锂(LiB3O5,简称LBO)晶体上沉积了ZrO2薄膜.采用分光光度计和X射线衍射技术对LBO晶体基底结构对薄膜光学性质和显微结构的影响进行了研究.实验结果表明:基底结构对薄膜的显微结构和光学性质具有明显影响,即X-LBO,Y-LBO和Z-LBO上沉积的ZrO2薄膜分别沿m(-212),m(021)和o(130)择优生长,且m(021)择优取向的ZrO2薄膜具有最高的折射率和最小的晶格不匹配.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达		10	77	5.0	8.0
2	张伟丽		3	15	3.0	3.0