微电铸的析氢现象研究

• 作者: 刘冲 刘海军 杜立群 肖日松 褚德南
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微电铸 LIGA 析氢 镍
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 446-448
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.160

摘要

讨论了微电铸工艺中的析氢现象.析氢是微电铸中的附加反应,如处理不当,将会使铸层产生缺陷,如针孔和麻点等,同时引发氢脆,从而降低铸层的机械性能.通过对微电铸原理及析氢机理的分析,提出稳定pH值、增加搅拌和过滤循环、添加润湿剂以及采用脉冲电流等四种有效措施.实验证明,以上措施解决了析氢现象对铸层质量的影响,并获得了满意的铸层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群		61	480	13.0	19.0
2	刘冲		156	1345	17.0	30.0
3	刘海军		16	371	12.0	16.0
4	褚德南		4	86	4.0	4.0
5	肖日松		2	34	2.0	2.0